近年來，隨著JIT(Just In Time)、BTO（面向訂單生產）等新型生產模式的提出，以及客戶、市場對產品質量提出更高要求，MES被重新發現并得到重視。同時企業開始認識到要從基礎的生產管理上提升競爭力，即只有將數據信息從產品級（基礎自動化級）取出，穿過操作控制級，送達管理級，通過連續信息流來實現企業信息集成才能使企業在日益激烈的競爭中立于不敗之地。制造執行系統（MES）旨在提升企業執行能力，具有不可替代的功能，競爭環境下的流程行業企業應分清不同制造管理系統的目標和作用，明確MES在集成系統中的定位，重視信息的準確及時、規范流程、利用工具、管理創新，根據MES成熟度模型對自身的執行能力進行分析，按照信息集成、事務處理、制造智能三階段循序漸進地實施MES系統，才能充分發揮企業信息化的作用，提高企業競爭力，為企業帶來預期效益。
一、添加通過SECS/GEM協議通信的要求：
1、機臺端要支持國際半導體設備與材料協會制定的SECS/GEM標準；
2、如果機臺不支持網線連接（TCP/IP），則需要提供相應的中轉設備實現聯網功能（可聯網的PLC、操作電腦等）；
3、機臺端要開放符合SECS/GEM標準（包括E4、E5、E30、E37）所需要使用到的所有接口及個性化定義的API文檔（針對于不同設備型號的數據傳輸控制中的命令定義），通過賣方提供的通訊協議&接口，用戶可實現自有服務器到機臺端數據的實時監控和機臺操作界面中所有功能的遠程執行；
二、基本功能
設備軟件主要功能 功能描述及驗收標準
信息追溯 設備帶有RFID和二維碼及條碼讀取功能，用于讀取每盤加工晶片的ID,讀取的數據生成文檔存儲至服務器，方便系統的調用。
自動化 1)可實現Autorecipe和自動進出站功能；
2)自動化流程滿足用戶需要；
3)設備滿足SECS/GEM協議通信的要求，具體見第2項。
數據記錄及數據上傳 1)生產總量數據記錄；
2)生產效率數據記錄
3)系統狀態顯示
4)運行時間記錄
5)故障時間記錄
6)待料時間記錄
7)耗材壽命及更換記錄
8）軟體recipe更改記錄
9）作業異常信息記錄
10)彈性化設計：軟件規格程序可依需求修改
三、軟件要求
● 自動模式
1. 更換至各種模式之選擇鍵
2. 顯示各槽工作狀態 (如: 待機中或工作中)
3. 顯示制程槽目前之配方編號；顯示制程槽之制程總時間，剩馀時間(遞減) 及已工作之時間(遞增)
4. 顯示年, 月, 日, 時，分，秒時間訊息
5. 顯示目前操作人員之等級
6. 藥液壽命監控（時間，片數，次數）
● 手動模式
1. 更換至各種模式之選擇鍵
2. 顯示各制程槽感測器狀態 (如: 液位信息)
3. 各閥件及其他被動元件操作
4. 超聲波，加熱器，晃動裝置手動操作
5. Robot 原點找尋操作
6. Robot 各槽位及個上下點移動單動操作
7. Robot 教導模式操作
● 警報模式
1. 更換至各種模式之選擇鍵。
2. 實時報警（實時報警主要顯示設備當前還存在的報警；并顯示發生的時間）
3. 歷史報警（歷史報警主要顯示設備曾經發生的報警；并顯示記錄發生的時間，確認時間，復位時間，報警解除時間。便于設備人員查找問題）
4. 顯示發生中之警報信息。(警報解除后，按操作面板上復位鍵解除警報信息。
3. 畫面右下角"歷史記錄"，進入之前警報訊息、時間等記錄。以利追溯警報狀況
● 參數設定
1. 設定設備調試所需之各項參數。
2. 設定酸液使用時間、次數，片數等各項參數。
3. 設定定量補酸模式：依每個Run 或時間。
4. 操作等級密碼設定 (高等級才可設定此功能)
